(EU) 2022/1Oprava nařízení Komise v přenesené pravomoci (EU) 2022/1 ze dne 20. října 2021, kterým se mění nařízení Evropského parlamentu a Rady (EU) 2021/821, pokud jde o seznam zboží dvojího užití (Úřední věstník Evropské unie L 3 ze dne 6. ledna 2022)

Publikováno:	Úř. věst. L 20, 31.1.2022, s. 282-282	Druh předpisu:	Nařízení v přenesené pravomoci;Oprava
Přijato:	31. ledna 2022	Autor předpisu:	Evropská komise
Platnost od:	31. ledna 2022	Nabývá účinnosti:	31. ledna 2022
Platnost předpisu:	Ano	Pozbývá platnosti:

Původní znění předpisu

Text předpisu s celou hlavičkou je dostupný pouze pro registrované uživatele.

31.1.2022

Úřední věstník Evropské unie

L 20/282

Oprava nařízení Komise v přenesené pravomoci (EU) 2022/1 ze dne 20. října 2021, kterým se mění nařízení Evropského parlamentu a Rady (EU) 2021/821, pokud jde o seznam zboží dvojího užití

( Úřední věstník Evropské unie L 3 ze dne 6. ledna 2022 )

Strana 142, příloha, bod 3B001.f se nahrazuje tímto:

„f.

litografická zařízení:

nastavovací a krokovací nebo krokovací a snímací zařízení na zpracování destiček polovodičů za použití fotooptických nebo rentgenových metod, která mají některou z těchto vlastností:

a.	vlnová délka světelného zdroje kratší než 193 nm; nebo

b.	schopnost exponovat obrazce s ‚velikostí nejmenšího rozlišitelného prvku‘ (MRF) 45 nm nebo menší; Technická poznámka: ‚Velikost nejmenšího rozlišitelného prvku‘ se vypočítá podle vzorce: kde K faktor = 0,35

vybavení pro tiskovou litografii schopné vyrábět struktury o velikosti 45 nm nebo menší;

Poznámka:

Položka 3B001.f.2. zahrnuje:

—	mikrokontaktní tiskové nástroje

—	nástroje pro ražení za tepla

—	nástroje pro nanotiskovou litografii

—	nástroje pro tiskovou litografii technikou „Step and flash“ (S-FIL)

Zařízení speciálně konstruovaná pro výrobu masek, která mají všechny tyto vlastnosti:

a.	využívají vychylovaného zaostřeného elektronového paprsku, iontového paprsku nebo „laserového“ paprsku; a

mají některou z těchto vlastností:

1.	stopa paprsku o šířce v polovině maxima (full-width at half maximum (FWHM)) menší než 65 nm a umístění obrazu menší než 17 nm (střed + 3 sigma); nebo

2.	nevyužito;

3.	chyba překrytí masky druhou vrstvou menší než 23 nm (střed + 3 sigma);

zařízení konstruovaná pro zpracování součástek za použití metod přímého zápisu, která mají všechny tyto vlastnosti:

a.	mají vychylovaný zaostřený elektronový paprsek; a

mají některou z těchto vlastností:

1.	minimální velikost paprsku nejvýše 15 nm; nebo

2.	chyba překrytí menší než 27 nm (střední hodnota + 3 sigma);“.

Zavřít

(EU) 2022/1Oprava nařízení Komise v přenesené pravomoci (EU) 2022/1 ze dne 20. října 2021, kterým se mění nařízení Evropského parlamentu a Rady (EU) 2021/821, pokud jde o seznam zboží dvojího užití (Úřední věstník Evropské unie L 3 ze dne 6. ledna 2022)

Vyhledání konkrétního předpisu

Fulltextové vyhledávání